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白光干涉儀S neox的濾光片測量

產(chǎn)品簡介

白光干涉儀S neox的濾光片測量:Sensofar S neox可對光學濾光片基板及成品進行非接觸測量,精確量化表面平整度、粗糙度與微缺陷,確保其光譜性能與鍍膜質(zhì)量。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-11-18
廠商性質(zhì):代理商
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白光干涉儀S neox的濾光片測量

光學濾光片,尤其是干涉型濾光片,其性能取決于內(nèi)部多層膜的結(jié)構(gòu)和厚度。任何基片的不平整度或表面缺陷都會影響濾光片的光譜特性。Sensofar S neox 3D光學輪廓儀可以用于濾光片基板和成品的關(guān)鍵參數(shù)測量。


對于濾光片基板,表面平整度是核心參數(shù)。基板的局部不平整會導致濾光片中心波長和帶寬發(fā)生變化。S neox的白光干涉模式可以快速掃描基板的大面積區(qū)域,精確測量其整體平面度或局部平整度誤差,確?;鍧M足鍍膜要求。
表面粗糙度是另一個重要參數(shù)。過高的表面粗糙度會導致光散射增加,降低濾光片的透射率或增加截止帶的背景噪聲。S neox能夠以亞納米級的垂直分辨率測量基板表面的粗糙度。
對于成品濾光片,S neox可以檢測其表面是否存在劃痕、疵點、顆粒污染等缺陷。這些缺陷會散射光,影響濾光片的性能。儀器可以量化缺陷的尺寸和深度。
此外,對于某些類型的濾光片結(jié)構(gòu),如嵌入式或表面微結(jié)構(gòu)濾光片,S neox可以測量其三維形貌。
S neox的非接觸式測量避免了對脆弱光學薄膜表面的潛在損傷。其高分辨率能夠探測到納米尺度的形貌變化。
因此,Sensofar S neox為光學濾光片的制造過程提供了一種質(zhì)量控制手段,從基板入庫檢驗到鍍膜后成品檢測,幫助確保濾光片的光學性能符合設(shè)計預期。


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