白光干涉儀S neox在微納技術(shù)中的角色

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白光干涉儀S neox在微納技術(shù)中的角色：Sensofar S neox以三維、高分辨率、非接觸測(cè)量能力，精準(zhǔn)表征MEMS、微流道及光子晶體等微納結(jié)構(gòu)的形貌與尺寸，助力微納技術(shù)的研發(fā)與質(zhì)量控制。

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更新時(shí)間：2025-11-12

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三維光學(xué)輪廓儀

布魯克 BEUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀 Sensofar 儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測(cè)量干涉儀 ZYGO三維光學(xué)輪廓儀布魯克三維光學(xué)輪廓儀

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白光干涉儀S neox在微納技術(shù)中的角色

微納技術(shù)是21世紀(jì)的前沿科技領(lǐng)域，涉及微電子、MEMS、微流體、光子芯片等諸多方向。這些領(lǐng)域的共同特征是在微米乃至納米尺度上進(jìn)行結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)、加工和表征。尺度的微小化對(duì)測(cè)量技術(shù)提出了嚴(yán)峻挑戰(zhàn)：需要非接觸、高分辨率、三維且快速的測(cè)量能力。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀作為白光干涉儀和共聚焦顯微鏡的集成系統(tǒng)，在微納技術(shù)的研發(fā)與質(zhì)量控制中扮演著一個(gè)值得關(guān)注的角色。

在MEMS器件制造中，需要精確測(cè)量微結(jié)構(gòu)如懸臂梁、齒輪、彈簧的尺寸（線寬、厚度）、形狀（彎曲、翹曲）以及動(dòng)態(tài)特性。S neox的白光干涉模式可以提供亞納米級(jí)的垂直分辨率，精確測(cè)量薄膜厚度和結(jié)構(gòu)的臺(tái)階高度。其高倍物鏡則能提供高的橫向分辨率，用于觀測(cè)微結(jié)構(gòu)的側(cè)壁形貌。對(duì)于器件的靜態(tài)形變，可以通過(guò)施加偏壓前后的形貌變化來(lái)量化。

在微流體芯片領(lǐng)域，流道的尺寸、深度、表面粗糙度直接影響流體的流動(dòng)特性。S neox可以對(duì)微流道進(jìn)行三維掃描，精確測(cè)量其寬度和深度，并評(píng)估流道表面的粗糙度，這對(duì)于優(yōu)化芯片設(shè)計(jì)和加工工藝非常重要。

對(duì)于光子晶體、光柵等光學(xué)微結(jié)構(gòu)，其周期、占空比、刻蝕深度是決定其光學(xué)性能的關(guān)鍵參數(shù)。S neox能夠?qū)@些參數(shù)進(jìn)行快速的非接觸測(cè)量，提供反饋以精確控制制備工藝。

面對(duì)微納結(jié)構(gòu)測(cè)量中常見(jiàn)的挑戰(zhàn)，如高深寬比結(jié)構(gòu)、透明材料、高反射表面等，S neox的多技術(shù)融合特性提供了應(yīng)對(duì)的靈活性。例如，對(duì)于深孔或窄槽，共聚焦模式可能有助于獲取側(cè)壁信息；對(duì)于透明聚合物制成的微流道，可以使用共聚焦模式或啟用透明材料校正算法。

此外，S neox的大面積自動(dòng)拼接功能，允許用戶先觀測(cè)微結(jié)構(gòu)在大尺寸晶圓上的整體分布情況，然后自動(dòng)定位到特定單元進(jìn)行高倍精細(xì)測(cè)量，實(shí)現(xiàn)了從宏觀布局到微觀特性的關(guān)聯(lián)分析。

綜上所述，Sensofar S neox憑借其三維、高分辨率、非接觸的測(cè)量能力，能夠滿足微納技術(shù)領(lǐng)域?qū)ξ⑿〗Y(jié)構(gòu)進(jìn)行定量化表征的多種需求。它為研究人員和工程師提供了一種有效的工具，用于驗(yàn)證設(shè)計(jì)、監(jiān)控工藝、分析失效，從而推動(dòng)微納技術(shù)的創(chuàng)新和發(fā)展。