Sensofar白光干涉輪廓儀為光學檢測量身打造

產(chǎn)品簡介

Sensofar白光干涉輪廓儀為光學檢測量身打造S neox針對光學元件檢測配備專屬附件，包括0.65X Michelson物鏡，能以大視野快速測量平面度。

產(chǎn)品型號：S neox

更新時間：2025-10-29

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：46

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

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Sensofar白光干涉輪廓儀為光學檢測量身打造

S neox針對光學元件檢測配備專屬附件，包括0.65X Michelson物鏡，能以大視野快速測量平面度。機身采用防光干擾設計，外殼啞光處理減少雜散光，內(nèi)部光學通道經(jīng)過遮光優(yōu)化。檢測平臺配備真空吸附裝置，可穩(wěn)固固定透鏡、棱鏡等光滑樣品，避免夾持變形。軟件內(nèi)置光學元件專用模板，包含曲率半徑、面型誤差等參數(shù)的一鍵分析功能。

二、性能聚焦：面型與粗糙度精準捕捉

干涉模式下的 PSI 技術能實現(xiàn)亞納米級縱向分辨率，搭配低倍率物鏡可在大視野下保持高精度，適合透鏡面型檢測。共聚焦模式配合 150x 高倍率物鏡，能測量光學表面＞70° 的局部斜面。針對高反射樣品，采用抗反射涂層鏡頭，減少光線反射干擾，提升成像質(zhì)量。檢測數(shù)據(jù)符合 ISO 12775 標準，可直接用于光學元件質(zhì)量評估。

三、用材與穩(wěn)定性保障

光學鏡頭選用高均勻性光學玻璃，經(jīng)過多輪研磨與鍍膜，確保不同區(qū)域透光率一致。設備框架采用高強度鋁合金，配合底部減震腳墊，能降低環(huán)境振動對檢測的影響。樣品臺真空吸附裝置的材質(zhì)為惰性橡膠，不會與光學元件表面發(fā)生化學反應，保障樣品潔凈。

四、操作流程與應用場景

以透鏡面型誤差檢測為例：1. 將透鏡通過真空吸附固定在平臺上，對準 0.65X 物鏡；2. 打開 SensoSCAN 軟件，選擇 “光學面型分析" 模塊；3. 設置掃描區(qū)域與分辨率，啟動干涉檢測；4. 完成后軟件自動計算 PV（峰谷值）、Rq（均方根偏差）等參數(shù)，生成 3D 面型圖。該設備可廣泛應用于透鏡、棱鏡、反射鏡等光學元件的面型誤差、粗糙度檢測，以及光學薄膜厚度均勻性測量。

五、核心參數(shù)簡表

項目	規(guī)格
專屬物鏡	0.65X Michelson 物鏡
縱向分辨率	亞納米級（干涉模式）
斜面測量能力	＞70°（光滑表面）
檢測標準	符合 ISO 12775 標準
樣品固定方式	真空吸附 + 機械夾具
報告參數(shù)	PV、Rq、曲率半徑等