ZeGage Pro的用途廣泛，可用于測(cè)量各種材料和表面的粗糙度、臺(tái)階高度、形狀輪廓、體積等參數(shù)。它適用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、材料科學(xué)、精密制造等多個(gè)領(lǐng)域。例如，在光學(xué)元件生產(chǎn)中，可用于檢測(cè)透鏡的表面質(zhì)量；在半導(dǎo)體行業(yè)，可用于測(cè)量晶圓的翹曲度和薄膜厚度。

儀器的操作通過(guò)隨機(jī)附帶的MetroPro軟件完成。該軟件提供了從儀器控制、數(shù)據(jù)采集到結(jié)果分析的全套功能。用戶可以通過(guò)軟件選擇測(cè)量模式、設(shè)置掃描參數(shù)、實(shí)時(shí)預(yù)覽樣品，并對(duì)采集到的三維數(shù)據(jù)進(jìn)行多種分析，生成符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量報(bào)告。

參數(shù)表示例：

使用ZeGage Pro時(shí)，需要將儀器放置在穩(wěn)固的工作臺(tái)上，并連接電源和網(wǎng)絡(luò)。開(kāi)機(jī)后，通過(guò)計(jì)算機(jī)上的軟件進(jìn)行操作。放置樣品時(shí)，需確保樣品表面清潔，并平穩(wěn)放置在樣品臺(tái)上。根據(jù)樣品的反射率和表面特性，在軟件中選擇合適的測(cè)量模式和參數(shù)，即可開(kāi)始自動(dòng)測(cè)量。測(cè)量完成后，數(shù)據(jù)會(huì)自動(dòng)傳輸至軟件進(jìn)行分析。