雙模協(xié)同：了解Sensofar共聚焦與干涉技術(shù)

在表面形貌測(cè)量中，不同的樣品特性往往需要不同的測(cè)量技術(shù)。單一的測(cè)量方式有時(shí)難以應(yīng)對(duì)多樣的樣品類(lèi)型。Sensofar S lynx三維輪廓儀將共聚焦成像與白光干涉測(cè)量技術(shù)集成在一臺(tái)設(shè)備中，這種組合方式拓展了其應(yīng)用范圍。

技術(shù)原理淺析：兩種方式的互補(bǔ)

共聚焦技術(shù)通過(guò)一個(gè)空間針孔來(lái)排除焦平面以外的散射光，從而能夠獲取樣品特定深度的清晰光學(xué)切片。通過(guò)垂直掃描，將這些切片疊加，就可以重建出表面的三維形貌。這種方式對(duì)于測(cè)量?jī)A斜表面或具有復(fù)雜輪廓的樣品有較好的表現(xiàn)。

白光干涉技術(shù)則是利用白光光源的短相干性，當(dāng)干涉儀參考臂與測(cè)量臂的光程相等時(shí)，會(huì)產(chǎn)生明顯的干涉條紋。通過(guò)垂直掃描并分析相機(jī)每個(gè)像素點(diǎn)的干涉信號(hào)，可以精確計(jì)算出該點(diǎn)的高度值。這種方式在測(cè)量階梯高度和光滑表面的微觀(guān)起伏時(shí)，能提供參考數(shù)據(jù)。

實(shí)際應(yīng)用中的技術(shù)切換

在實(shí)際操作S lynx時(shí)，用戶(hù)可以根據(jù)樣品的實(shí)際情況，在軟件中選擇更適合的測(cè)量模式。

• 對(duì)于粗糙、高傾斜或漫反射表面，可以考慮優(yōu)先使用共聚焦模式進(jìn)行測(cè)量。

• 對(duì)于光滑、低粗糙度或需要測(cè)量微小臺(tái)階的樣品，白光干涉模式可能更為合適。

• 對(duì)于一些復(fù)雜樣品，甚至可以嘗試將兩種模式的數(shù)據(jù)進(jìn)行融合，以獲取更完整的形貌信息。

這種靈活性使得S lynx在面對(duì)實(shí)驗(yàn)室或產(chǎn)線(xiàn)上多樣的樣品時(shí)，能夠提供一種適應(yīng)性的測(cè)量方案。

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與性能表現(xiàn)

S lynx的光路設(shè)計(jì)考慮了兩種技術(shù)的集成，通過(guò)內(nèi)部的光學(xué)組件切換，實(shí)現(xiàn)不同測(cè)量模式間的轉(zhuǎn)換。儀器所使用的LED光源具有較長(zhǎng)的使用壽命和穩(wěn)定的光強(qiáng)輸出。CCD相機(jī)負(fù)責(zé)圖像的捕捉，其像素?cái)?shù)量與所選物鏡的搭配，共同決定了系統(tǒng)的橫向分辨能力。

性能參數(shù)概覽

• 垂直掃描范圍：可達(dá)數(shù)毫米（具體取決于物鏡配置）。

• 重復(fù)性：測(cè)量數(shù)據(jù)具有可參考的穩(wěn)定性。

• 物鏡套組：支持多種倍率的物鏡，用戶(hù)可根據(jù)測(cè)量范圍與分辨率的需求進(jìn)行更換。

了解共聚焦與白光干涉技術(shù)的原理與特點(diǎn)，有助于用戶(hù)更好地發(fā)揮S lynx雙模測(cè)量的潛力，為材料分析、質(zhì)量控制等環(huán)節(jié)提供形貌數(shù)據(jù)支持。雙模協(xié)同：了解Sensofar共聚焦與干涉技術(shù)