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Sensofar 白光干涉儀測量技術(shù)原理探討?

產(chǎn)品簡介

Sensofar 白光干涉儀測量技術(shù)原理探討?
Sensofar S lynx輪廓儀的功能多樣性，建立在共聚焦和白光垂直掃描干涉（VSI）這兩種核心測量技術(shù)之上。理解這兩種技術(shù)的基本原理和適用條件，有助于用戶在實際應(yīng)用中選擇合適的模式。

產(chǎn)品型號：lynx2
更新時間：2025-10-23
廠商性質(zhì)：代理商
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 Sensofar 白光干涉儀測量技術(shù)原理探討

Sensofar 白光干涉儀測量技術(shù)原理探討?

Sensofar S lynx輪廓儀的功能多樣性，建立在共聚焦和白光垂直掃描干涉（VSI）這兩種核心測量技術(shù)之上。理解這兩種技術(shù)的基本原理和適用條件，有助于用戶在實際應(yīng)用中選擇合適的模式。
共聚焦測量技術(shù)細節(jié)
共聚焦技術(shù)的核心在于其光路中設(shè)置的針孔。這個針孔與樣本焦點處于共軛位置，能有效阻擋非焦平面的散射光。當物鏡沿Z軸進行掃描時，系統(tǒng)記錄下每個XY坐標點光強達到最大值時的Z位置。通過這種方式，可以逐點重建出樣本表面的三維高度信息。這種技術(shù)對光散射較強的表面，如粗糙的金屬、陶瓷或具有陡峭幾何形狀的結(jié)構(gòu)，有較好的測量效果，其垂直測量范圍也相對寬泛。
白光垂直掃描干涉（VSI）技術(shù)細節(jié)
VSI技術(shù)利用白光光源相干長度短的特性。當光束分光后，一束光照射樣本表面，另一束光照射參考鏡。反射光匯合后會產(chǎn)生干涉，但只有在兩束光的光程差接近零的很小范圍內(nèi)，才會出現(xiàn)清晰的干涉條紋。通過垂直掃描，并利用算法找到每個像素點干涉條紋對比度最高的Z軸位置，即可確定該點的高度。VSI模式在測量光學光滑、平坦或緩變的表面時，能提供出色的垂直分辨率。
技術(shù)的協(xié)同與選擇
S lynx的軟件能夠自動或根據(jù)用戶指令在不同技術(shù)間切換。例如，對于同時包含光滑區(qū)域和粗糙區(qū)域的復雜樣本，可以先使用共聚焦模式進行快速大范圍測量和定位，再針對關(guān)鍵的光滑區(qū)域切換至VSI模式進行高分辨率細節(jié)捕捉。這種靈活性使一臺設(shè)備能夠應(yīng)對多種測量挑戰(zhàn)。
性能關(guān)聯(lián)因素
兩種技術(shù)的實際表現(xiàn)均與所選物鏡的數(shù)值孔徑（NA）密切相關(guān)。高NA物鏡提供更高的橫向分辨率，但景深和工作距離會減小。S lynx的自動物鏡轉(zhuǎn)盤使得針對不同視場和分辨率需求進行切換變得簡便。
總結(jié)
S lynx所搭載的共聚焦和VSI技術(shù)，構(gòu)成了互補的測量體系。用戶通過理解其工作原理和特點，可以根據(jù)具體的樣本表面特性，做出適當?shù)募夹g(shù)選擇，從而獲取有效的三維形貌數(shù)據(jù)。

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