徠卡DM8000M 顯微鏡光學(xué)設(shè)計(jì)與成像優(yōu)勢(shì)

徠卡 DM8000M 的光學(xué)系統(tǒng)是其核心競(jìng)爭(zhēng)力之一。該顯微鏡采用了徠卡的多層鍍膜物鏡技術(shù)，能夠在寬波段范圍內(nèi)保持高透過(guò)率和低色差。5×至100×的放大倍率覆蓋了從宏觀缺陷定位到微觀結(jié)構(gòu)觀察的全部需求。

在宏觀檢查模式下，使用 5× 或 10× 物鏡配合斜照明，可快速定位晶圓表面的劃痕、顆?；蛭廴疚铩Ｇ袚Q至 20×、50× 或 100× 物鏡后，配合暗場(chǎng)或透射光，可清晰呈現(xiàn)金屬沉積層、薄膜裂紋以及微小顆粒的形貌。LED 光源的光譜可調(diào)，用戶可根據(jù)材料的光學(xué)特性選擇合適的波段（如 UV 用于光刻膠殘留檢測(cè)），進(jìn)一步提升對(duì)細(xì)節(jié)的辨識(shí)度。

成像質(zhì)量受多因素影響，其中光路的對(duì)準(zhǔn)與光源的均勻性尤為關(guān)鍵。DM8000M 通過(guò)內(nèi)部光路自校準(zhǔn)功能，在每次啟動(dòng)時(shí)自動(dòng)校正光路偏差，確保圖像中心對(duì)齊、亮度均勻。配套的 600 萬(wàn)像素 CMOS 傳感器采用背照式結(jié)構(gòu)，噪聲低、動(dòng)態(tài)范圍寬，能夠在低光照條件下仍保持清晰的細(xì)節(jié)捕捉。

光學(xué)性能指標(biāo)

• 分辨率：在 100× 物鏡下，理論分辨率可達(dá) 0.2?µm（依據(jù)瑞利判據(jù)）。

• 視場(chǎng)直徑：5× 物鏡約 10?mm，100× 物鏡約 0.5?mm。

• 色差校正：全色帶（可見(jiàn)光 + UV）均實(shí)現(xiàn)低色差。

• 光強(qiáng)均勻性：LED 照明采用多點(diǎn)光源陣列，光強(qiáng)偏差 <?5%。

實(shí)際應(yīng)用案例

在一家 8?inch 晶圓制造廠，技術(shù)人員使用 DM8000M 對(duì)光刻后晶圓進(jìn)行暗場(chǎng)檢查，成功捕捉到直徑 0.3?µm 的微小顆粒，隨后通過(guò)軟件自動(dòng)計(jì)數(shù)功能統(tǒng)計(jì)缺陷密度，為工藝改進(jìn)提供了量化依據(jù)。

維護(hù)要點(diǎn)

• 定期檢查 LED 光源的散熱片是否積塵，保持散熱通暢。

• 物鏡表面使用專用光學(xué)清潔紙輕拭，避免劃傷。

• 每半年進(jìn)行一次光路對(duì)準(zhǔn)校驗(yàn)，確保成像一致性。

通過(guò)上述光學(xué)設(shè)計(jì)與成像優(yōu)勢(shì)，DM8000M 能夠在高產(chǎn)能半導(dǎo)體檢測(cè)環(huán)境中提供可靠、細(xì)致的圖像信息，幫助用戶快速定位并分析缺陷。徠卡DM8000M 顯微鏡光學(xué)設(shè)計(jì)與成像優(yōu)勢(shì)