ZeGage Pro激光干涉儀的多樣化應(yīng)用場景

ZYGO ZeGage Pro 是一款非接觸式的3D光學(xué)輪廓儀，致力于為科研與工業(yè)領(lǐng)域提供表面形貌的測量方案。它基于相干掃描干涉技術(shù)（CSI），能夠?qū)某饣轿⒋植诘母鞣N表面進(jìn)行三維形貌測量和二維輪廓分析。

在產(chǎn)品細(xì)節(jié)上，ZeGage Pro的設(shè)計緊湊，集成了光源、干涉物鏡、精密壓電掃描器和高分辨率相機(jī)于一體。其外殼采用工業(yè)級的鋁合金材料，確保了儀器在長時間運行中的穩(wěn)定性和抗環(huán)境干擾能力。儀器正面配備了直觀的觸摸屏控制界面，使用戶能快速進(jìn)行基礎(chǔ)操作和實時觀察。

該儀器的性能體現(xiàn)在其測量能力上。它能夠以納米級垂直分辨率捕捉表面細(xì)節(jié)，并提供大范圍的掃描區(qū)域。其重復(fù)性測量結(jié)果的一致性，有助于用戶進(jìn)行可靠的對比和趨勢分析。無論是透明材料、金屬還是高反光表面，ZeGage Pro都能應(yīng)對常見的測量挑戰(zhàn)。

ZeGage Pro的核心優(yōu)勢源于其內(nèi)在的技術(shù)和扎實的制造用材。它采用了經(jīng)過驗證的相干掃描干涉法（CSI），這是一種通過分析樣品與參考鏡之間產(chǎn)生的干涉信號來重建表面三維形貌的技術(shù)，適用于多種表面的精細(xì)測量。

在光學(xué)系統(tǒng)方面，ZeGage Pro配備了高質(zhì)量的LED光源，不僅提供了穩(wěn)定的照明，還具有長的使用壽命，降低了后續(xù)的維護(hù)成本。其干涉物鏡系列經(jīng)過精心設(shè)計和校準(zhǔn)，確保了測量的準(zhǔn)確傳遞。鏡片采用低膨脹系數(shù)的光學(xué)玻璃，減少了由熱波動引起的測量偏差。

儀器的機(jī)械結(jié)構(gòu)是穩(wěn)定性的基石。核心掃描單元采用低熱膨脹材料和高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計，有效隔離了外界振動和溫度變化帶來的影響。精密壓電陶瓷（PZT）驅(qū)動器負(fù)責(zé)完成納米級的垂直掃描，其線性和重復(fù)性為高分辨率測量提供了保障。

樣品臺同樣體現(xiàn)了對質(zhì)量的關(guān)注。臺面平整度高，由耐磨材料制成，電動驅(qū)動版本采用精密的絲杠和電機(jī)，確保了定位的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。

ZYGO ZeGage Pro 3D光學(xué)輪廓儀的應(yīng)用范圍橫跨多個制造與研發(fā)領(lǐng)域，其靈活的配置和可靠的性能使其成為多種測量任務(wù)的合適選擇。

在光學(xué)制造領(lǐng)域，它用于測量透鏡、棱鏡、反射鏡等光學(xué)元件的表面質(zhì)量、曲率半徑、面形誤差以及鍍膜后的表面變化。對于激光光學(xué)元件和自由曲面，其高分辨率的測量能力顯得尤為重要。

在半導(dǎo)體和MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）領(lǐng)域，ZeGage Pro可以精確測量硅晶圓上的薄膜厚度、光刻膠圖形的臺階高度、CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）后的表面平整度以及微結(jié)構(gòu)的三維形貌。其非接觸的特性避免了對脆弱結(jié)構(gòu)的損傷。

在精密加工與材料科學(xué)領(lǐng)域，該儀器可用于評估金屬、陶瓷、聚合物等材料的表面粗糙度、磨損情況、涂層厚度和紋理方向。研究人員利用它來分析材料處理工藝（如拋光、研磨、噴涂）對表面特性的影響。

在學(xué)術(shù)科研領(lǐng)域，ZeGage Pro是物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)等學(xué)科中進(jìn)行微觀表面研究的工具。從仿生學(xué)表面結(jié)構(gòu)到納米材料的形貌表征，它都能提供直觀且量化的數(shù)據(jù)支持。

使用說明在這些場景中略有不同。例如，測量高反光樣品時，可能需要調(diào)整光強(qiáng)或使用特定的物鏡；測量透明薄膜時，則需要軟件中的特殊分析算法來正確處理上下表面的干涉信號。ZeGage Pro的軟件提供了預(yù)設(shè)的測量模板和可自定義的流程，幫助用戶快速適應(yīng)不同的應(yīng)用需求，簡化操作步驟，提升測量效率。

ZeGage Pro激光干涉儀的多樣化應(yīng)用場景