產(chǎn)品概述

奧林巴斯STM7測(cè)量顯微鏡是專為工業(yè)檢測(cè)與質(zhì)量控制設(shè)計(jì)的多功能光學(xué)測(cè)量設(shè)備。其核心優(yōu)勢(shì)在于將高分辨率成像與三軸精密測(cè)量功能深度整合，可滿足從電子元件到精密機(jī)械零件的多樣化檢測(cè)需求。該系列包含STM7-SF、STM7-MF、STM7-LF等型號(hào)，支持手動(dòng)與電動(dòng)調(diào)焦兩種模式，載物臺(tái)尺寸覆蓋50mm×50mm至300mm×300mm，適配不同規(guī)模樣品的檢測(cè)場(chǎng)景。

核心性能與用材

1. 光學(xué)系統(tǒng)
   STM7采用UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)，通過消除像差實(shí)現(xiàn)高對(duì)比度成像。明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉、偏光四種觀察模式可自由切換，例如在檢測(cè)金屬表面劃痕時(shí)，微分干涉模式可清晰呈現(xiàn)0.1μm級(jí)的微小缺陷。

2. 機(jī)械結(jié)構(gòu)
   鏡架基座采用花崗巖材質(zhì)，其熱膨脹系數(shù)僅為鋼材的1/50，可有效抵御環(huán)境溫度波動(dòng)對(duì)測(cè)量精度的影響。實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)顯示，在20℃±1℃恒溫環(huán)境下，Z軸重復(fù)測(cè)量誤差，滿足半導(dǎo)體晶圓厚度檢測(cè)的嚴(yán)苛要求。

3. 測(cè)量系統(tǒng)
   標(biāo)配0.1μm分辨率的線性標(biāo)尺，支持XY平面與Z軸同步測(cè)量。以STM7-LF型號(hào)為例，其300mm×300mm載物臺(tái)可實(shí)現(xiàn)大型印刷電路板的整體測(cè)量，避免傳統(tǒng)設(shè)備需多次定位拼接導(dǎo)致的誤差累積。

型號(hào)參數(shù)對(duì)比

使用說明

1. 樣品準(zhǔn)備
   清潔載物臺(tái)表面，使用真空吸附臺(tái)固定薄型樣品（如晶圓），厚型樣品（如金屬塊）可直接放置并調(diào)整水平。

2. 調(diào)焦操作
   通過離合器系統(tǒng)快速切換粗調(diào)（10mm/轉(zhuǎn)）與微調(diào)（0.01mm/轉(zhuǎn)）模式。在檢測(cè)0.5mm高度的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器件時(shí)，建議先使用5×物鏡粗定位，再切換至100×物鏡進(jìn)行微調(diào)。

3. 數(shù)據(jù)采集
   連接OLS50-S-MSP電動(dòng)載物臺(tái)套件，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域自動(dòng)拼接測(cè)量。例如在檢測(cè)12英寸晶圓表面顆粒時(shí)，軟件可規(guī)劃20×20mm的測(cè)量網(wǎng)格，單次采集覆蓋全片數(shù)據(jù)。

應(yīng)用案例

某汽車零部件廠商使用奧林巴斯STM7測(cè)量顯微鏡STM7-MF檢測(cè)發(fā)動(dòng)機(jī)噴油嘴孔徑，通過暗場(chǎng)模式清晰識(shí)別0.02mm的毛刺缺陷，測(cè)量效率較傳統(tǒng)投影儀提升3倍，年節(jié)約質(zhì)檢成本超50萬元。