維護ZYGO光學(xué)輪廓儀的建議

為了確保ZYGO光學(xué)輪廓儀長期保持穩(wěn)定的測量性能，遵循正確的使用流程并執(zhí)行定期維護是必要的。

使用環(huán)境要求：
儀器應(yīng)放置在溫度穩(wěn)定、無強氣流、避免陽光直射和振動干擾的環(huán)境中。較大的溫度波動會導(dǎo)致光學(xué)元件和樣品發(fā)生熱脹冷縮，直接影響測量精度。對于NX2這類高精度設(shè)備，甚至要求恒溫恒濕的潔凈室環(huán)境。

日常使用規(guī)范：

1. 樣品準備：確保樣品表面清潔，無灰塵、指紋和油污。輕拿輕放，避免劃傷工作臺或物鏡。

2. 操作習慣：開機后，建議預(yù)熱一段時間（如30分鐘），讓光學(xué)系統(tǒng)達到熱平衡。選擇物鏡時，注意先移動鏡頭架再旋轉(zhuǎn)物鏡，避免側(cè)向力損壞螺紋。

3. 軟件操作：遵循軟件指引設(shè)置參數(shù)，避免使用參數(shù)導(dǎo)致測量失敗或數(shù)據(jù)失真。測量完成后，及時導(dǎo)出數(shù)據(jù)并妥善保存。

日常維護與保養(yǎng)：

1. 清潔：定期使用專用的吹氣球或氮氣吹塵槍清潔物鏡表面和樣品臺。對于頑固污漬，需使用指定的鏡頭紙和清潔劑輕輕擦拭。

2. 檢查：定期檢查電纜、連接器和移動部件是否有磨損或松動跡象。

3. 校準：按照廠家推薦的周期，使用附帶的標準樣板對儀器的垂直和橫向尺度進行校準，以驗證其計量溯源性。

4. 專業(yè)服務(wù)：遇到無法解決的故障或需要進行深度保養(yǎng)時，應(yīng)聯(lián)系ZYGO的技術(shù)支持團隊，由專業(yè)工程師進行處理。

通過良好的使用和維護習慣，可以延長設(shè)備的使用壽命，并確保測量數(shù)據(jù)的可靠性和一致性。

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