澤攸臺(tái)階儀高精度測(cè)量得力助手

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

澤攸臺(tái)階儀高精度測(cè)量得力助手
對(duì)于需要較高測(cè)量精度的場(chǎng)景，澤攸臺(tái)階儀憑借其精細(xì)的設(shè)計(jì)和穩(wěn)定的性能，能提供可靠的測(cè)量數(shù)據(jù)，適合科研機(jī)構(gòu)和高精度制造企業(yè)使用。

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-10-21

廠商性質(zhì)：代理商

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

臺(tái)式電鏡&臺(tái)階儀&原位分析

澤攸澤攸臺(tái)式掃描電鏡澤攸臺(tái)階儀澤攸探針臺(tái)及低溫系統(tǒng) 澤攸TEM原位方案(樣品桿) 澤攸SEM原位解決方案

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對(duì)于需要較高測(cè)量精度的場(chǎng)景，澤攸 ZY - 1000 臺(tái)階儀憑借其精細(xì)的設(shè)計(jì)和穩(wěn)定的性能，能提供可靠的測(cè)量數(shù)據(jù)，適合科研機(jī)構(gòu)和高精度制造企業(yè)使用。

澤攸臺(tái)階儀高精度測(cè)量得力助手

產(chǎn)品細(xì)節(jié)

機(jī)身設(shè)計(jì)注重穩(wěn)定性，底部設(shè)有防震腳墊，減少外界振動(dòng)的影響。操作界面采用觸摸屏設(shè)計(jì)，可直觀設(shè)置各項(xiàng)參數(shù)，支持自定義測(cè)量程序，方便針對(duì)不同樣品保存測(cè)量方案。樣品臺(tái)配備微米級(jí)調(diào)節(jié)旋鈕，能精準(zhǔn)調(diào)整樣品的位置，確保測(cè)量點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)。測(cè)量探頭配有保護(hù)蓋，閑置時(shí)可有效防塵防潮。

產(chǎn)品性能

該臺(tái)階儀的測(cè)量分辨率較高，能捕捉到微小的臺(tái)階高度變化和表面凹凸細(xì)節(jié)。采用閉環(huán)控制的傳動(dòng)系統(tǒng)，探頭移動(dòng)的定位精度較好，多次測(cè)量同一位置的偏差較小。它具備數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)功能，可對(duì)多組測(cè)量結(jié)果進(jìn)行平均值、最大值、最小值的計(jì)算，便于分析樣品的整體狀況。對(duì)光學(xué)鏡片、半導(dǎo)體晶圓等高精度表面的測(cè)量效果較好。

用材講究

測(cè)量探頭采用特殊的寶石材料，硬度高且耐磨性強(qiáng)，保證了長(zhǎng)期高精度測(cè)量的穩(wěn)定性。設(shè)備內(nèi)部的光學(xué)傳感器選用高靈敏度元件，能精確感知探頭的微小位移。樣品臺(tái)采用天然花崗巖材質(zhì)，具備良好的穩(wěn)定性和抗震性，確保測(cè)量過程中樣品臺(tái)自身的形變極小。

參數(shù)詳情

參數(shù)項(xiàng)	具體數(shù)值
測(cè)量范圍	0 - 1000μm（臺(tái)階高度）
分辨率	可滿足高精度臺(tái)階測(cè)量需求
定位精度	±1μm（樣品臺(tái)移動(dòng)）
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)	可存儲(chǔ) 1000 組測(cè)量數(shù)據(jù)
電源要求	220V±10%，50Hz

廣泛用途

在半導(dǎo)體晶圓制造中，可測(cè)量光刻膠臺(tái)階、蝕刻深度，為晶圓加工工藝的優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持。在光學(xué)元件生產(chǎn)中，能檢測(cè)透鏡表面的曲率臺(tái)階、鍍膜厚度，保障光學(xué)元件的成像質(zhì)量。在精密儀器研發(fā)中，可測(cè)量微小機(jī)械結(jié)構(gòu)的臺(tái)階尺寸和表面粗糙度，確保儀器的正常運(yùn)行。

使用說明

設(shè)備需放置在恒溫恒濕的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中，避免陽(yáng)光直射和氣流干擾。使用前對(duì)設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)，按照說明書的步驟用標(biāo)準(zhǔn)樣品調(diào)整測(cè)量精度。放置樣品時(shí)，使用專用的樣品座，確保樣品與樣品臺(tái)緊密貼合。通過觸摸屏設(shè)置詳細(xì)的測(cè)量參數(shù)，包括測(cè)量路徑、采樣間隔等，啟動(dòng)測(cè)量后耐心等待完成。測(cè)量數(shù)據(jù)可導(dǎo)出至電腦進(jìn)行進(jìn)一步分析，設(shè)備使用后需關(guān)閉電源，蓋上防塵罩。

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