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納米尺度分析:ZEM系列臺式電鏡介紹

產(chǎn)品簡介

納米尺度分析:ZEM系列臺式電鏡介紹
澤攸電鏡的JS系列臺階儀是進(jìn)行納米尺度表面輪廓和膜厚測量的工具。它與掃描電鏡技術(shù)相結(jié)合,可提供多維度的樣品信息。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2025-10-21
廠商性質(zhì):代理商
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澤攸電鏡的JS系列臺階儀是進(jìn)行納米尺度表面輪廓和膜厚測量的工具。它與掃描電鏡技術(shù)相結(jié)合,可提供多維度的樣品信息。納米尺度分析:ZEM系列臺式電鏡介

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與性能:
JS系列采用壓電陶瓷驅(qū)動和柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),實現(xiàn)了探針的平穩(wěn)掃描。測量力可調(diào),以適應(yīng)不同硬度樣品的測量需求,避免對樣品造成損傷。

核心參數(shù)(JS 400例):

  • 掃描范圍:100μm × 100μm × 25μm (XYZ)

  • 垂直分辨率:0.1nm

  • 掃描速度:0.01 - 1mm/s

  • 樣品尺寸:直徑≤ 6英寸

用途:
主要用于半導(dǎo)體制造中的膜厚測量、MEMS器件表面形貌表征、材料表面的粗糙度分析等。

使用簡述:
選擇并安裝合適的探針,將樣品固定在樣品臺上。通過軟件設(shè)定掃描路徑和參數(shù),系統(tǒng)即可自動完成測量并生成三維輪廓圖。納米尺度分析:ZEM系列臺式電鏡介


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