白光干涉儀，作為一種高精度的光學(xué)測(cè)量儀器，廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)生產(chǎn)和質(zhì)量檢測(cè)等多個(gè)領(lǐng)域。它基于光學(xué)干涉原理，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)物體表面微觀形貌的精確測(cè)量，具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全和測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。

　　白光干涉儀的結(jié)構(gòu)主要包括照明光源系統(tǒng)、光學(xué)成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)和應(yīng)用軟件。照明光源系統(tǒng)通常采用高亮度LED光源，提供穩(wěn)定、均勻的光源。光學(xué)成像系統(tǒng)則負(fù)責(zé)接收從樣品和參考鏡反射回來的光線，并形成清晰的圖像或干涉條紋。垂直掃描控制系統(tǒng)能夠精密驅(qū)動(dòng)顯微物鏡上下移動(dòng)，調(diào)整焦距和掃描范圍。數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)由計(jì)算機(jī)和數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器構(gòu)成，負(fù)責(zé)采集和處理原始圖像數(shù)據(jù)。應(yīng)用軟件則提供操作控制、結(jié)果顯示及后處理功能。

　　其測(cè)量原理是光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后，通過分光棱鏡被分成兩束光，一束投射到被測(cè)樣品表面，另一束投射到參考鏡表面。兩束光分別從樣品和參考鏡表面反射回來，再次通過分光棱鏡后匯聚成一束光，并在CCD相機(jī)感光面上形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光的光程差不同，它們會(huì)在CCD相機(jī)上產(chǎn)生明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，通過分析干涉條紋的明暗度及位置變化，可以解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度或三維形貌。

　　白光干涉儀的應(yīng)用范圍廣泛，包括半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)，以及航空航天、科研院所等領(lǐng)域。它能夠測(cè)量從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，提供從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)，為產(chǎn)品質(zhì)量控制和科學(xué)研究提供了有力支持。

　　此外，它還具有非破壞性檢測(cè)的特點(diǎn)，適用于各種材料的檢測(cè)，包括金屬、半導(dǎo)體、光學(xué)鏡片等。在生命科學(xué)和醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，它還可以用來觀察細(xì)胞和組織的形態(tài)變化，提高細(xì)胞成像的分辨率和清晰度。

　　綜上所述，白光干涉儀以其高精度、高效率和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，成為現(xiàn)代科研和工業(yè)生產(chǎn)中至關(guān)重要的光學(xué)測(cè)量工具。

　　最后展示幾組白光干涉儀外觀圖片，以便您更好地了解產(chǎn)品。