Sensofar共聚焦白光干涉儀|多焦面疊加

主動照明多焦面疊加是一種為了測量粗糙的表面形狀而開發(fā)的光學技術(shù)。這項技術(shù)基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測量領(lǐng)域的廣泛專業(yè)知識，專門設(shè)計用于補充低放大率下的測量

BACKGROUND

Sensofar共聚焦白光干涉儀|多焦面疊加原理

主動照明多焦面疊加技術(shù)利用了明場中存在景深的特點，

樣品只有在的特定 z 范圍中對焦。 景深會根據(jù)物鏡的數(shù)值孔徑或光源波長而變化。

Z 高度的值是根據(jù)圖像的高對比度（清晰度或微小細節(jié)）來計算的

從而得出正確的對焦位置。